Die Strukturen in der Halbleiterindustrie werden immer kleiner, wohingegen die Anzahl der Bearbeitungsschritte stetig steigt. Die Nullfehlerproduktion bei allen Prozessen ist somit eine unabdingbare Voraussetzung geworden, um eine akzeptable Gesamtausbeute erzielen zu können.
Bei kaum einem anderen Fertigungsprozess treten prozessbedingt so viele Partikel auf, wie beim Polieren von Optiken. Fremdpartikeln, die nicht aus dem Poliermittel stammen, und die Mikrokratzer beim Polieren verursachen, müssen eliminiert werden.