Passende Produkte/ Services für die Halbleiterbranche
In der Halbleiterindustrie werden hohe Ansprüche an die Reinheit gestellt. Die Reinräume haben meist eine Luftreinheitsklasse zwischen ISO 5 und ISO 7. Da diese ISO-Klassen für die hochsensiblen Prozesse der Halbleiterindustrie jedoch oft nicht ausreichend sind, werden diese Prozesse meist mit Minienvironment-Lösungen zusätzlich vor schädigenden Partikeln geschützt. Hierin kann man die größte Partikelquelle – den Menschen- fast vollständig ausgrenzen. In solch einem Minienvironment kann eine Luftreinheitsklasse ISO 2 oder sogar ISO 1 erreicht werden.
Um diese besonders hohe Reinheit, die an den Prozess gestellt wird, sicherstellen zu können, sollte bereits bei der Materialauswahl darauf geachtet werden, dass diese nicht nur glatt und leicht zu reinigen sind. Sie sollten außerdem lösungsmittelstabil und ausgasungsarm sein. Oft finden eloxiertes Aluminium, Glas und Edelstahl Anwendung. Einen Überblick über geeignete Materialien finden Sie hier.
Minienvironment
Kontaminationsfreie Fertigung erreicht man einerseits durch den Einsatz reinraum- und reinheitstauglicher Materialien und Maschinen. Andererseits treten diese Parameter wieder in den Hintergrund, wenn man es schafft durch technische Einrichtungen - den Minienvironments – zu verhindern, dass diese Kontaminationen in den Bereich der Prozesse und Produkte gelangen. Wird durch eine intelligente Reinluftströmung saubere Luft zum Prozessort gebracht und Kontaminationen abgeführt bzw. abgeschirmt, muss nicht zwangsweise auf reinraum- und reinheitsgerechte Einheiten zurückgegriffen werden.
Mit dem Start der ersten 300 mm – Fertigung in Dresden wurde durch SEMATECH und SEMI festgeschrieben, dass jedes Equipment zwingend ein Minienvironment hat und der Gerätelieferant für dessen Funktion verantwortlich ist. Damit wird die Kompetenz in Reinheitsfragen mehr und mehr dem Prozess zugeordnet. Die betroffenen Unternehmen haben die Möglichkeit, das dafür notwendige Wissen aufzubauen oder sich externe Kompetenz ins Team zu holen.
Dabei wird konsequent auf adaptierte Lösungen verzichtet, wie sie bei Retrofit-Fabs lange eingesetzt wurden. Heute ist das Minienvironment ein fester Bestandteil der Fertigungsmaschine. Die Funktionselemente der Maschine selbst werden mit Funktionselementen des Minienvironments verknüpft. Dabei spielt das reinheitsgerechte Design eine große Rolle. Viele verschiedene Komponenten sind dafür ausschlaggebend. Nur eine davon, die unbedingt beachtet werden muss, ist die strömungsgerechte Gestaltung.
Zu unseren Minienvironment-Lösungen
Reinheitsanforderungen gerecht werden – Reinigung von Einzelteilen und Baugruppen
Noch immer werden viele Fertigungsgeräte für Hochtechnologieanwendungen unter „normalen“ Fertigungsbedingungen hergestellt. Dass nur alleine die Endmontage im Reinraum geschieht, ist bei weitem nicht ausreichend. Die gewünschten Resultate von Folgeaktionen bleiben aus, wenn die Prozesskette nicht in ihrer Gesamtheit betrachtet und konsequent eingehalten wird. Das heißt unter anderem, dass eine finale Reinigung des Gesamtgerätes nicht effizient möglich ist, wenn die Einzelteil-und Komponentenreinigung vernachlässigt wird. Da die Kontaminationen, die früher oder später hervortreten und das Produkt schädigen können, an Stellen eingebaut wurden, die nachträglich nicht mehr gereinigt werden können, wie es die Reinheitsanforderungen verlangen. Dabei sei auf die oben schon erwähnte „10er-Regel“ verwiesen: Unterlassene Aufwendungen am Anfang einer Produktionskette, die später aber doch eine hohe Notwendigkeit haben, in diesem Fall die Oberflächenreinheit, erfordern mit jedem weiteren Arbeitsschritt in der Verarbeitungskette einen um das 10-fache höheren Kostenaufwand als im davorliegenden Schritt.
Folgende Voraussetzungen sind im Minimum notwendig, um eine Prozesskette weitestgehend einzuhalten:
- Wissen zu reinheitsgerechtem Design von Geräten und Automatisierungseinrichtungen

- Verfügbarkeit von reinraumgerechten Baugruppen
- Reinraumbedingung für die Montage
- Geschultes Personal für die Produktion der Geräte
- Wissen bezüglich Reinigung von Teilen, Baugruppen und Geräten
- Wissen bezüglich reinraumgerechter Verpackung und Logistik
- Bestehende Messausstattung um den Arbeitsfluss zu überwachen
Zu unserem Reinigungsangebot für Baugruppen und Maschinen