Unterschiedliche Kundenanforderungen verlangen nach unterschiedlichen Reinheitslösungen. Im Folgenden werden daher die wichtigsten Lösungen in der Reinraumtechnik vorgestellt.
Gerade in der Halbleiterindustrie ist man auf eine reine Produktionsumgebung angewiesen. Dies betrifft nicht nur die partikuläre sondern auch molekulare Kontaminationen. Den im Reinraum eingesetzten Maschinen und verwendeten Materialien kommen für...
