• filter wafer handling system
  • lüfter filter wafer

Das kleine leichte Lüfter-Filter-Modul FFM-S lässt sich ideal in ein Gesamtsystem integrieren, um am Point-of-use eine hochreine Umgebung zu generieren. Es kann z.B. an eine Roboterhand oder einen Lift in einem Wafer-Handling-System montiert werden.

Funktionsweise des Lüfter-Filter-Moduls FFM-S

Die durch den Lüfter angesaugte Luft strömt über den Luftschacht im Gehäuse und wird durch das Filtermedium gefiltert. Die abströmende gefilterte Reinstluft wird durch Luftleitbleche gezielt zum Prozess geleitet.

Zur Funktionskontrolle ist ein Differenzdruckschalter integriert. Die Funktion wird mittels LED sichtbar gemacht. Ein hohes Luftvolumen wird mit leistungsstarkem DC-Radiallüfter ermöglicht. Die Lüfterdrehzahl und damit die Luftaustrittsgeschwindigkeit des Lüfter-Filter-Moduls kann mithilfe eines Potentiometers am Gehäuse oder extern über einen D-Sub-Stecker geregelt werden. Ein Schwebstofffilter  U16 erzielt eine optimale Luftfilterung. Die Lüfterplatte und das Gehäuse sind aus hochwertigem Edelstahl. Das Lüfter-Filter-Modul ist komplett montiert und sofort betriebsbereit.

Die passende Lösung für Ihren Prozess

Das leichte Lüfter-Filter-Modul FFM-S kann an jeden Prozess angepasst werden. Dieses Modul findet vor allem in Bereichen mit begrenztem Platzangebot Anwendung. Mit seinem geringen Gewicht von     6 kg ist es bestens für den Einsatz in Handling-Systemen geeignet.

Vorteile des Lüfter-Filter-Moduls FFM-S

Die Abmessungen des Lüfter-Filter-Moduls können flexibel an jeden Kundenwunsch angepasst werden und mit seiner besonders flachen Bauweise perfekt in Ihr bestehendes System integriert werden.

Daten

- kundenspezifisch anpassbar
- besonders flach
- erhältlich in verschiedenen Größen und Ausstattungen

Anwedungen

- im Wafer-Handling-System

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