Abnahmemessungen

Abnahmemessungen für Reinräume dienen dem Nachweis der Übereinstimmung mit
den festgelegten Anforderungen der Luftreinheit. Sie erfolgen nach vorgeschriebenen
Standards entsprechend DIN EN ISO14644-2, DIN EN ISO 14644-4 und VDI 2083-3.
Die Abnahmemessungen umfassen dabei mindestens.
·      Luftvolumenstrom- / Luftgeschwindigkeitsprüfung
·      Bestimmung der Luftwechselzahl
·      Differenzdruckprüfung
·      Dichtheitsprüfung für Filter
·      Zählung luftgetragener Partikel
        incl. statistische Auswertung und Klassifizierung des Reinraumes
Weitergehende Messungen umfassen Klimaparameter, Schallpegel und Beleuchtungsstärke.

Abscheidegrad (Trenngrad, separation efficiency)

Im Allgemeinen wird mit dem Abscheidegrad die Wirksamkeit von Trennverfahren bewertet.
In der Reinraum-Filtertechnik beschreibt der Abscheidegrad eines Filters das Verhältnis von abgeschiedenen Partikeln zu eingetretenen Partikeln pro Volumeneinheit und wird in Prozent angegeben.

Abscheidegrad (in %) = 100 x (CE-CA) / CE

CE= Partikelkonzentration bei Lufteintritt 
CA= Partikelkonzentration bei Luftaustritt 

Der Abscheidegrad ist von der Partikelgröße abhängig. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Filterklassifizierung anhand des Abscheidegrades  gegenüber dieser Partikelgrößen.

 

AMC-Filter

AMC (Airborne Moleculare Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Aminofilter

(Begriff aus der Reinraumtechnik) Aminofilter sind chemische Filter, die Aminoverbindungen aus der Luft filtern und chemisch binden. Der Einsatz von Aktivkohle ohne chemische Imprägnierung ist nicht möglich, da Aminoverbindungen von der unbehandelten Aktivkohle nicht zurückgehalten werden können.
(siehe auch: AMC-Filter)

Flowbox

Veralteter und inzwischen ungebräuchlicher Begriff.
Der Begriff Flowbox wird durch Kunden für verschiedene Produkte verwendet und ist daher missverständlich.
Diese Produkte sind: 

  • Lüfter-Filter-Module /FFM 
  • Reine Werkbänke /Workbenches /Reinluftarbeitsplätze
  • Reinraumkabinen 

Kreuzkontamination

Kreuzkontaminationen sind Kontaminationen von Personen oder benachbarter Prozesse, die den zu betrachtenden Prozess negativ beeinflussen. Die Möglichkeit einer Kreuzkontamination ist vor allem in Reinräumen mit turbulenter Mischlüftung gegeben. Bei Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung oder in Minienvironments ist die Gefahr einer Kreuzkontamination geringer, da dort die Kontaminationen gezielt in unkritische Bereiche abgeführt werden.

Lüfter-Filter-Modul

(auch Filter-Fan-Unit (FFU) oder Filter-Fan-Modul (FFM))
Ein Lüfter-Filter-Modul ist eine kompackte Versorgungseinheit für Reinstluft. Diese Module bestehen in den meißten Fällen aus Gehäuse, Filterelement (HEPA- oder ULPA-Filter) und Ventilator. Produktabhängig kann es zu geringfügigen Abweichungen vom Grundaufbau kommen. Ggf. kann ein Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilterelementen ausgestattet sein. Diese werden zum Schutz des HEPA/ULPA-Filters vor Grobstaub eingesetzt. In Sonderfällen können diese Vorfilter als chemische Filter ausgelegt sein, um molekulare Verunreinigungen aus der Luft herauszufiltern .

Prüfaerosol

Prüfaerosole werden in der Reinraumtechnik zur Kalibrierung von Partikelzählern und zur Prüfung der Filter eingesetzt.
Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Klassifizierung der Filter anhand ihrer Filtereffektivität gegenüber diesen Partikelgrößen mittels DEHS-Prüfaerosol (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat)

Reinraumkleidung

Reinraumkleidung dient dem Schutz von Produkten, die unter Reinraumbedingungen produziert werden, vor einer Kontamination durch den Menschen.
Wichtige Kriterien für die Einordnung als Reinraumkleidung sind:
· Abriebfestigkeit
Gefordert ist eine geringe Partikelabgabe bei Reibungskontakten des Kleidungsmaterials mit sich selbst, mit Umgebungsmaterial oder dem Material der Unterbekleidung.
Die Abriebfestigkeit (auch Scheuerbeständigkeit genannt) wird häufig mit dem
Martindale-Test nach ISO 12947 ermittelt.
 · Partikelrückhaltevermögen
Das Partikelrückhaltevermögen definiert die Filterwirkung der Reinraumkleidung zwischen Mensch und Produkt. Die von der Haut oder der Unterbekleidung abgegebenen Partikel müssen weitestgehend von der Reinraumkleidung zurückgehalten werden.
Mögliche Prüfung des Partikelrückhaltevermögens mit der ITV-Prüfmethode entsprechend VDI 3926.
· Antistatik
Elektrostatische Aufladungen der zumeist aus Kunststofffasern bestehenden Reinraumkleidung werden durch Einlagerung von leitfähigen Carbonfasern verhindert.
· Reinigbarkeit

 

Reinraumtauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

Die Reinraumtauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf den Reinraum und beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind. Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.
Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

Sauberraum

Der Begriff Sauberraum wird für räumlich abgetrennte Bereiche verwendet, die von ihrer Luftreinheit besser als die umgebenden Bereiche sind, jedoch nicht zwingend Reinraumqualität aufweisen müssen und nicht in die gängigen Partikelreinheitsklassen der Luft nach ISO 14644-1 bzw. VDI 2083-1 eingeordnet werden . Auf Grund der konsequenten Umsetzung des metrischen Maßsystems und der Ablösung des US-Federal-Standards 209E durch die ISO 14644-1 kann man ggf. den Sauberraum mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft von ISO 9 oder ISO 8 beschreiben. Viel wichtiger als diese Klassifizierung über Partikelkonzentrationen in der Luft ist es aber, den Sauberraum für den jeweiligen Einsatzfall zu definieren und Aktionen festzulegen, die diesen als den ursprünglich gedachten Sauberraum erhalten.

Sauberraummodul

Der Aufbau des Sauberraummoduls entspricht im Wesentlichen dem des Lüfte-Filter-Moduls. Im Unterschied zu diesem wird kein HEPA- oder ULPA-Filter sondern ein hochwertiges Feinfilterelement eingesetzt. Dadurch erreicht man eine für viele Prozesse ausreichende Luftfiltration bei einem sehr hohem Volumenstrom.

Vorfilter

Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.
(siehe auch Parikelvorfilter oder AMC-Filter)